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後工程 | テスト | 表面実装/液晶 || リソグラフィー | エッチング | 熱処理/イオン注入 | 洗浄等 | 分析・測定 | CMP ウエハ


売却装置情報 --- 半導体/前工程
  • リソグラフィー装置(露光装置, コーター・デベロッパー)
  • エッチング装置(ドライエッチ, アッシング)
  • 熱処理/イオン注入装置(拡散炉, RTP/RTA, 薄膜形成装置, イオン注入)
  • ウエット工程(洗浄装置, ウエットエッチング)
  • その他:平坦化(CMP)装置, ウエハ製造装置 etc.

リソグラフィー: 露光装置
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
リソグラフィー: コータ・デベロッパ
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
T161207t1P110 ml テセック 8101-TT テスター Inq. 1
前工程: エッチング/アッシング装置
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
E170321l2C101 ml キヤノン FPA-5500iza ステッパー/12in. 2012 1
S150929l1S101 ml キヤノン FPA2000-i1 ステッパー Inq. 1
S170707l1G101 ml ニコン NSR-1505G4 ステッパー/6in. Inq. 3
S160212l3Q108 ml ウシオ電機 UMA-1002-HC94 UVキュア 1994 1
S171017w3G672 ml ASSI SV-702-M2 スピン洗浄/乾燥 2015 1
S171017w3G674 ml ASSI SV-702-M2 スピン洗浄/乾燥 2015 1
E170131l1A110 ml ウシオ電機 UMA-1002-HC93 NH UVキュア 1996 1
A150624p2D108 ml 石井工作研究所 SP-3302-NL トリム&フォーム/QFN用 2000 1
C170407z1S101 ml ニコン G3 ステッパー/5in. Inq. 1
S170706a2L112 ml ミツトヨ PJ300 302-926 投影機 Inq. 1
C171206z2S101 ml ウシオ電機 UMA-1002-HC93MG UV照射機 1995 1
拡散炉
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
CVD装置
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
PVD/蒸着装置
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
イオン注入装置
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
前工程: 洗浄装置等(ウエットプロセス)
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
C160121l1G179 ml AACHEN Inq. デベロッパ Inq. 1
C160121l1G178 ml AACHEN Inq. デベロッパ Inq. 1
M171024z1V205 ml 新電子 ESV-505 外観検査装置 (L->R) 2005-07 1
T160128h2S103 ml 横河 HS2000 テストハンドラ 2005-2007 5
前工程: CMP
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
前工程: ウエハ製造等
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
C171106z1R106 ml 原マシナリー (Inq.) 結晶加工装置 Inq. 1
C171017z1615 ml 秀和工業 SGM-6301 研削機 2007 1
C171017z1620 ml 秀和工業 SGM-7000A 研削機 2007 1
C171017z1621 ml 秀和工業 SGM-7000A 研削機 2007 1

売却装置情報 --- 分析・測定機器
  • 分析機器
  • 顕微鏡(電子顕微鏡を含む)
  • 計測機器 etc.
CD測定、SEM
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
顕微鏡
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
分析機器
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
(膜厚/抵抗等)計測機器
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品
(電気信号等)測定機器
TTC ID メーカー 型式 品名・仕様 年式 台数 対応製品